高端電子工藝裝備

【1】集成電路裝備

產(chǎn)業(yè)介紹：電控公司的集成電路裝備以七星電子（北方微）（A股代碼：002371）為載體，借助上市平臺和國家重大科技專項加快產(chǎn)業(yè)發(fā)展，產(chǎn)品以集成電路設(shè)備為主，并結(jié)合市場需求向光伏、先進封裝、LED、MEMS、光波導、功率器件和化合物半導體等應(yīng)用領(lǐng)域拓展。七星電子（北方微）先后承擔11項國家重大科技02專項，技術(shù)水平快速提升，填補了國內(nèi)12英寸高端刻蝕機、PVD、CVD、氧化爐、清洗機等設(shè)備技術(shù)空白，大部分產(chǎn)品實現(xiàn)了28nm的產(chǎn)業(yè)化認證，刻蝕機、PVD已開始14nm技術(shù)的研發(fā)。 

12英寸28nm刻蝕機、PVD、氧化爐等設(shè)備均已進入了國內(nèi)知名集成電路制造企業(yè)大生產(chǎn)線，多款產(chǎn)品已成為LED、先進封裝、MEMS等泛半導體領(lǐng)的主流產(chǎn)品，市場開拓工作成效顯著。其中12英寸、28nmHardMask PVD設(shè)備及12英寸55nm硅刻蝕設(shè)備已作為中芯國際的Baseline設(shè)備。

重要產(chǎn)品：刻蝕設(shè)備（Etch）、化學氣相沉積設(shè)備（CVD）、物理氣相沉積設(shè)備（PVD）立式爐、LPCVD、超精細清洗機、ALD設(shè)備。 

【2】鋰電裝備

北京電控可提供全套的鋰離子電池極片生產(chǎn)所需的攪拌、涂布、輥壓、分切設(shè)備。

成功研制大容量的（400L、600L、800L、1000L、2000L）攪拌設(shè)備，已掌握自動上料技術(shù)、攪拌過程程序化控制、攪拌料評價等技術(shù)；成功開發(fā)出了擠出式涂布設(shè)備，涂布速度10-20m/min（最高達到30m/min）。成功開發(fā)出了液壓伺服輥壓設(shè)備，極片軋制速度達到20-30m/min（最高達到60m/min），掌握了極片熱軋技術(shù)、輥電鍍技術(shù)、AGC液壓伺服控制型等核心技術(shù)。

分切設(shè)備可分切卷材寬度達700mm，生產(chǎn)效率達到50m/min（最高水平達到80m/min），并開發(fā)了設(shè)備CCD測控系統(tǒng)降低了產(chǎn)品廢品率。與此同時，成功的搭建了20000Ah鋰離子動力電池中試線，為自產(chǎn)設(shè)備提供了工藝驗證平臺，具備提供整線解決方案的能力。